近日,荷兰媒体报道称,美国国会推动的MATCH 法案如果最终落地,可能进一步迫使荷兰收紧对华半导体设备出口,不仅涉及ASML向中国销售部分DUV光刻机,还可能影响已经售出的设备维护、服务和软件支持。

荷兰贸易大臣已经公开表达反对,认为美国通过国内法律对盟友实施域外约束并不可取。但问题在于:荷兰反对,不代表美国就会停下来。

这一次美国盯上的,已经不是EUV,而是中国目前还可以可以买到,而且大量用于成熟制程的DUV设备。

很多人一提光刻机,首先想到EUV。但对于中国半导体产业而言,DUV的重要性同样巨大。

EUV主要服务于最先进的芯片制造,而DUV尤其是193nm浸没式光刻机,则广泛应用于成熟制程,同时通过多重曝光等工艺,也能够参与先进节点制造。

此前,ASML最先进的EUV设备已经无法出口中国;荷兰也在美国压力下逐步扩大对部分先进DUV设备的出口限制。2023年荷兰就已经对部分先进DUV实施许可证制度,而MATCH法案会进一步向前推进使荷兰、日本等盟友对特定半导体设备实施与美国类似的限制,其中就包括浸没式DUV光刻机,并可能限制对已经交付设备的维护和服务。

这就完全不一样了,以前是不给你最先进的设备,现在可能变成连你正在使用的设备,也要限制维修。

所以今天的问题就变得非常微妙:ASML想做中国生意,但美国可以通过供应链和出口管制影响ASML。这也是为什么荷兰政府一边表示反对,一边又不得不听从美国。

对ASML而言,中国市场非常重要。据ASML官方披露数据显示,2025年其按设备发货地计算的系统销售中,中国占比达到33%,是最大的单一地区。

如果MATCH法案进一步限制DUV销售,同时限制存量设备维护,那么对ASML而言,损失的不仅仅是新机器订单。还有一个非常重要的业务:服务。光刻机不是卖出去就结束了,一台价值极高的光刻机进入晶圆厂之后,需要长期维护、升级、校准和技术支持。如果连这些服务都被限制,那么中国市场对于ASML的价值将被进一步压缩。

历史已经反复证明:外部限制越往产业链深处推进,国产替代的动力往往越强。当然,不能简单认为禁了ASML,中国马上就能造出同等水平的光刻机,这不现实。光刻机是半导体制造设备皇冠上的明珠,涉及光学、机械、电子、控制、软件、材料、精密制造等大量技术领域。特别是EUV,技术壁垒极高。

但另外一个事实同样不能忽视:中国已经拥有全球规模最大的半导体制造市场之一,而且成熟制程产能庞大。如果海外设备供应进一步收紧,那么国产设备企业面对的,就不再只是有没有市场的问题,而是有没有机会成为主流供应商,这两者完全不同。

过去国产光刻机面对ASML,很多晶圆厂可能会问为什么不用成熟的进口设备?现在如果进口设备越来越难买、越来越难维护,那么问题就会变成国产设备什么时候能够真正替代?需求,会反过来推动产业进步。

美国限制ASML向中国出售光刻机,看起来是在限制中国。但从更长的时间尺度看,它实际上是在逼着整个中国半导体产业重新计算一笔账:如果今天买不到,明天怎么办?如果设备不能进口怎么办?如果核心零部件被卡住怎么办?如果软件授权被取消怎么办?如果设备坏了,却没有原厂工程师维修怎么办?答案只有一个:自己做。

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