国家知识产权局信息显示,英飞凌科技股份有限公司申请一项名为“分割半导体衬底的方法和冷却板装置”的专利,公开号CN122662599A,申请日期为2026年2月。
专利摘要显示,分割半导体衬底的方法和冷却板装置。方法包括使固体衬底复合物(100)与冷却板(210)的冷却表面(211)接触。固体衬底复合物(100)包括半导体衬底(110)和形成在半导体衬底(110)的第一表面(111)上的辅助层(120)。辅助层(120)和半导体衬底(110)具有不同的热膨胀系数。释放层(115)形成在第一表面(111)和与第一表面(111)相对的第二表面(112)之间的半导体衬底(110)中。在冷却周期中,冷却板(210)被冷却,并且生成独立于重力的夹紧力,该夹紧力将固体衬底复合物(100)和冷却板(210)彼此夹紧,其中固体衬底复合物(100)沿着释放层(115)分割。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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