国家知识产权局信息显示,磊菱微纳精密科技(江苏)有限公司申请一项名为“基于半导体抛光的反馈控制优化方法及系统”的专利,公开号CN122655029A,申请日期为2026年7月。

专利摘要显示,本发明提供了基于半导体抛光反馈控制优化方法及系统,涉及半导体技术领域,所述方法包括:对半导体机械抛光进行多源实时感知融合,构建多物理场耦合信号数据集进行数字孪生动态分析,生成晶圆表面形貌演化预测序列进行强化学习,制定工艺参数调整策略模拟执行工艺参数调整策略进行预演分析,生成工艺参数决策轨迹,生成工艺参数执行微调指令,对半导体进行抛光闭环回归分析,按照分析结果进行迭代反馈控制优化,生成反馈控制优化方案。解决了现有技术存在抛光过程实时监测与预测精度低,导致晶圆平整度差、非均匀性高的技术问题。通过多物理场感知和强化学习分析,提高晶圆形貌预测精度,改善抛光均匀性与平整度的技术效果。

天眼查资料显示,磊菱微纳精密科技(江苏)有限公司,成立于2021年,位于南通市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本6298.6972万人民币。通过天眼查大数据分析,磊菱微纳精密科技(江苏)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目5次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息26条,此外企业还拥有行政许可17个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员