国家知识产权局信息显示，上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“可控通孔塑形方法”的专利，公开号CN122662660A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本发明公开了一种可控通孔塑形方法，提供的衬底材料上形成有至少一个通孔，通孔的下部具有第一直径；利用离子束发生装置产生离子束，将离子束导向通孔的目标扩径区域；通过控制离子束的束流参数，对通孔上部侧壁进行物理溅射或反应离子刻蚀，选择性去除上部侧壁材料，使通孔上部的直径扩大至第二直径，从而形成上部孔径大、下部孔径小的漏斗状或台阶状通孔结构。本发明的可控通孔塑形方法，能够在同一通孔内形成上部大直径、下部小直径的异形结构，工艺灵活可控，工艺窗口宽。

天眼查资料显示，上海华力集成电路制造有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2105次，专利信息2912条，此外企业还拥有行政许可550个。

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作者：情报员