国家知识产权局信息显示,苏州赛森电子科技有限公司取得一项名为“一种晶圆偏移检测装置”的专利,授权公告号CN224707438U,申请日期为2025年8月。

专利摘要显示,本申请公开了一种晶圆偏移检测装置,涉及半导体加工技术领域,本申请支架均匀分布于圆形透明盖上,确保支架上的三个感应器以120°夹角布局,检测光束形成正三角形区域并与晶圆中心重合,腰形检测槽精准引导光束感应器感应信号与晶圆上升信号串联,晶圆传送时,感应器感应晶圆位置,若感应器未感应到晶圆即位置正常,若任一感应器感应到晶圆即位置偏移,电路立即断开,切断晶圆上升信号,设备停机,避免晶圆脱片及碎片,从而解决了现有技术中无法检测晶圆在传送过程中的位置偏移从而导致其脱片和碎片的技术问题,达到了可以检测晶圆在传送过程中的位置偏移从而不会使其脱片和碎片的技术效果。

天眼查资料显示,苏州赛森电子科技有限公司,成立于2014年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州赛森电子科技有限公司参与招投标项目24次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息121条,此外企业还拥有行政许可5个。

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作者:情报员