国家知识产权局信息显示,瓦克化学股份公司申请一项名为“用于制造和分类半导体材料棒的方法”的专利,公开号CN122699924A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明提供了一种用于生产和分类半导体材料棒的方法,该方法包括‑将除了氢气之外还包含至少一种半导体组分的反应气体引入到由反应器壳体和基板限定的气相沉积反应器的反应室中,其中所述反应室包含至少一个加热的载体主体,所述载体主体紧固到所述基板并且所述半导体材料沉积在所述载体主体上以形成棒,‑通过从所述基板垂直升高所述反应器壳体来打开所述气相沉积反应器,其中在所述升高期间和/或在所述升高之后的所述反应器壳体的降低期间,通过附接到所述反应器壳体的下边缘的至少一个测量装置生成所述棒的二维和/或三维图像,‑任选地从所获得的二维或三维图像生成整体图像,‑分析所述二维或三维图像或所述整体图像,并确定至少一个分类参数,其中根据所述分类参数将所述棒供应至进一步的处理步骤。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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