国家知识产权局信息显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“改善重掺硼滑移线的方法”的专利,公开号CN122687339A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明提供一种改善重掺硼滑移线的方法,属于重掺拉晶方法技术领域,在等径过程中,预设目标炉压、目标氩气流量、目标埚转、目标晶转、目标磁场强度、目标拉速、目标温度梯度曲线,所述目标炉压为4Pa~6Pa,所述目标氩气流量90slm~110slm,所述目标埚转为0.1rpm~2rpm,所述目标晶转为8.5rpm~9.5rpm,所述目标磁场强度为3000GS,所述目标拉速≤0.65mm/min,所述目标温度梯度曲线中,随着等径长度增加温度梯度先降低然后逐渐增加;通过在重掺硼晶体生长中构建了“低炉压+高氩气流量+弱磁场+超低埚转+动态温度梯度”的协同热场调控体系,通过各参数对固液界面热流分布的耦合作用,直接作用于晶棒径向温差(ΔT)的削减,从力学根源上切断了位错滑移的驱动力,减少滑移线。
天眼查资料显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司,成立于2015年,位于银川市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目17次,专利信息411条,此外企业还拥有行政许可27个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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