来源：新浪基金∞工作室

9月10日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）开盘跌0.99%，报1.101元。科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股方面，华海清科开盘跌0.71%，中微公司跌0.63%，中科飞测跌0.38%，拓荆科技跌0.60%，华峰测控跌1.32%，芯源微跌0.42%，沪硅产业跌0.35%，盛美上海跌0.55%，安集科技跌0.30%，富创精密跌0.21%。

科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为鹏华基金管理有限公司，基金经理为林嵩，成立（2025-08-27）以来回报为122.34%，近一个月回报为-9.54%。