来源:市场资讯

(来源:第三代半导体产业)

9月9日,第28届中国国际光电博览会(CIOE)在深圳国际会展中心正式启幕。星钥半导体首次亮相光博会展台,集中展出覆盖大尺寸硅基 GaN 外延、高精度混合键合、垂直堆叠单片全彩的全链条工艺晶圆实物,以及多波长定制微显示屏、红绿双色堆叠样品、R/G/B+CMOS 垂直堆叠晶圆、MicroLED 光互连器件等一系列重磅研发成果。公司对外披露,依托全自主 8 英寸 MicroLED IDM 产线,外延、芯片、键合全流程实现自主可控,标志国内 MicroLED 产业化迈入全链路自主制造新阶段。

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当前 MicroLED 行业普遍面临制造成本高、规模化交付能力不足等痛点,根源在于传统工艺路线难以稳定量产。星钥半导体认为,复用成熟半导体工艺体系,是突破产业瓶颈的核心路径。目前公司基于半导体工艺打造的量产产线已全线打通并实现出货,建成国内首条真正意义上的 8 英寸 MicroLED IDM 产线,全程无外部代工环节,掌握从外延生长到异质集成的核心制造能力。

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星钥半导体是专注硅基 MicroLED 研发、生产与销售的高科技企业,2024 年 10 月落户武汉东湖高新区。公司现已建成 8 英寸 MicroLED 研发量产线,并规划建设国际领先的 8/12 英寸全制程 MicroLED 芯片制造工厂。核心创始团队拥有全球头部 8 英寸 GaN 芯片量产项目经验,聚焦高性能 MicroLED 微显示芯片研发量产,产品面向 AR、AI 数据中心光互联、可穿戴设备、微型投影等场景,提供成套技术解决方案。

本次展会,星钥半导体以四大技术平台为底座,现场展出多段关键工艺晶圆实物,完整展示工程化落地能力,四大平台分别为:大尺寸硅基 GaN 平台,与 CMOS 共用硅衬底,键合兼容性强、良率优势突出,适配标准半导体产线,具备规模化降本潜力;高效率红光平台,布局 Si 衬底三元红光与 GaAs 衬底四元红光两条路线,兼顾像素微缩性能与广色域需求;高精度混合键合平台,攻克热膨胀系数失配、高密度互连、热预算受限等异质集成难题,支持室温预键合,实现超高密度互连与极低寄生参数;异质堆叠集成平台,借鉴图像传感器成熟垂直堆叠思路,打通 R/G/B+CMOS 单片全彩技术路径。

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产品端,多款特色样品集中亮相。多波长可定制单色 MicroLED 微显示屏带来 490nm Tiffany 蓝、580nm 爱马仕橙等特色波长器件,区别于行业常规绿光方案,依托自研硅基 GaN 外延平台,通过调控量子阱组分实现宽光谱调谐,摆脱对外购外延片依赖,可匹配下游整机差异化光学设计需求,现场演示收获产业链客户高度关注。

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红绿双色堆叠样品采用混合键合垂直堆叠架构,集成双发光层,可独立输出两种色彩,实现动态波长调节,作为全彩技术量产前的过渡方案,能够丰富 AR 终端色彩表现,同时持续验证堆叠与键合整套工艺,为单片全彩研发积累制造经验。面向中长期全彩目标,展台展出 R/G/B+CMOS 垂直堆叠工艺晶圆,公司规划基于该路线的单片全彩量产级样品将于 2027 年 3 月交付。星钥同时布局两种红光方案与 X-Cube 合光、单片堆叠两套全彩技术路线,灵活适配不同终端客户需求。

除 AR 微显示赛道外,星钥半导体同步展出 MicroLED 光互连外延片与 Chip on Wafer 芯片样品。微显示与光互连技术同源,共享硅基 GaN 外延、晶圆加工、混合键合制造底座。这款 MicroLED 光互连器件采用 “Wide and Slow” 并行架构,瞄准 AI 数据中心短距高速互联、共封装光学 CPO 等前沿场景,依托 8 英寸 IDM 平台持续开展工艺验证,推动 MicroLED 技术跨赛道落地。

星钥半导体市场负责人表示,LEDoS 产业化并非简单做出实验室样机,真正难点在外延、键合、堆叠等底层制造环节。本次参展集中展示全流程工艺晶圆与阶段性产品,直观呈现 IDM 模式完整技术能力。公司将持续迭代多波长单色、双色堆叠产品,稳步推进单片全彩与光互连技术研发,期待联合整机、光学、光通信产业链伙伴,共同加速国产 MicroLED 商业化落地。

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