国家知识产权局信息显示,天津中科晶禾电子科技有限责任公司申请一项名为“晶圆对准方法及装置”的专利,公开号CN122784370A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本发明属于晶圆键合技术领域,公开了一种晶圆对准方法及装置。晶圆对准方法包括步骤:缺口和圆弧边缘位置识别:分别对上晶圆和下晶圆的缺口和至少一个圆弧边缘位置识别成像,确定上晶圆和下晶圆的中心坐标;粗对准:计算上晶圆和下晶圆的中心坐标的第一相对差值,并根据第一相对差值调节下晶圆的位置,完成上晶圆和下晶圆的初始对准;标记识别:分别对上晶圆和下晶圆的标记识别成像,确定上晶圆和下晶圆的标记坐标;精对准:计算上晶圆和下晶圆的标记坐标的第二相对差值,并根据第二相对差值调节下晶圆的位置,完成上晶圆和下晶圆的最终对准。本发明在保证对准精度的同时,解决了大初始偏差条件下的标记丢失问题,提升了对准可靠性。
天眼查资料显示,天津中科晶禾电子科技有限责任公司,成立于2020年,位于天津市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析,天津中科晶禾电子科技有限责任公司参与招投标项目81次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息157条,此外企业还拥有行政许可7个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴