国家知识产权局信息显示,合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“离子注入设备”的专利,公开号CN122781788A,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,本申请提供一种离子注入设备,离子注入设备包括工艺腔、传送腔和真空锁腔;还包括:阻隔板,阻隔板设置于传送腔与真空锁腔之间,阻隔板包括供基板通过的连通口;阀体,包括内腔和位于内腔相对两侧的第一侧壁和第二侧壁,第一侧壁位于内腔靠近真空锁腔的一侧,第二侧壁位于内腔靠近传送腔的一侧;阀体还包括至少贯穿第一侧壁的第一气孔,第一气孔与内腔连通;封堵件,封堵件至少部分位于第一气孔内,并部分封堵第一气孔。在本申请的离子注入设备中,通过设置封堵件对第一气孔进行部分封堵,改变了阀体排出气流的流向,使气流远离基板传输路径,降低颗粒附着风险,从而减少了基板表面的异常聚集。

天眼查资料显示,合肥维信诺科技有限公司,成立于2018年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目998次,专利信息4629条,此外企业还拥有行政许可43个。

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作者:情报员