国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备和晶圆检测方法”的专利，公开号CN122803618A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本发明提供一种半导体工艺设备和晶圆检测方法，半导体工艺设备包括：工艺腔室；设置在工艺腔室内的承载装置；位于工艺腔室顶部的多个第一传感器，第一传感器在承载装置的承载面所在平面的投影位于以承载装置中心为圆心的目标圆周上，且沿目标圆周分布，目标圆周的半径大于或等于承载装置的承载面的半径且小于晶圆的半径，第一传感器用于检测晶圆中与第一传感器正对位置的厚度；处理装置，用于根据各个第一传感器在同一时刻检测到的厚度差异，判断晶圆是否发生位置偏移；和/或，根据各第一传感器在工艺过程中检测到的厚度与工艺开始之前检测到的厚度之差，以及预先得到的晶圆的厚度变化量与温度之间的关系，确定晶圆与目标圆周相对的位置的温度。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1517次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息5960条，此外企业还拥有行政许可341个。

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作者：情报员