国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“基于颗粒计数的喷头测试硬件”的专利，公开号CN122827015A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，在一些示例中，一种喷头测试装置包含形成内部容积的外壳。该外壳被配置成支撑在该内部容积中设置的喷头。该喷头测试装置还包含可移除地附接至该外壳的第一供给线路。该第一供给线路被配置成供应压缩气体至该外壳的该内部容积。该喷头测试装置还包含能移除地附接至该喷头的第二供给线路。该第二供给线路被配置成供应该压缩气体至该喷头的内部容积。该喷头测试装置还包含可移除地附接至该外壳的测量探头。该测量探头取得与通过该喷头的该内部容积和该外壳的该内部容积中的一者或两者的气流相关的颗粒计数测量值。

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作者：情报员