国家知识产权局信息显示,深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆缺陷检测方法及相关装置”的专利,公开号CN122820618A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本申请公开了一种晶圆缺陷检测方法及相关装置,该方法包括根据待测图像确定比例尺区域并提取比例尺区域图像;根据比例尺区域图像分别确定比例尺对应的文字区域图像和线段区域图像;基于串联设置的文本框定位模型和文字识别模型对文字区域图像进行文字的提取和识别,确定比例尺对应的物理标定长度;利用预设的自适应阈值分割模型和形态学细化模型对线段区域图像进行线段的像素级提取,通过反向推导亚像素级的线段端点确定比例尺对应的像素长度;根据物理标定长度和像素长度计算当前待测图像中单像素对应的物理尺寸映射关系,以基于物理尺寸映射关系确定待测图像中缺陷目标的物理尺寸,实现缺陷物理尺寸的准确测量,从而提高晶圆缺陷检测准确性。
天眼查资料显示,深圳中科飞测科技股份有限公司,成立于2014年,位于深圳市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本35016.3237万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目411次,财产线索方面有商标信息303条,专利信息1147条,此外企业还拥有行政许可45个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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