国家知识产权局信息显示,浙江创芯集成电路有限公司申请一项名为“晶圆平坦化工艺”的专利,公开号CN122825725A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,一种晶圆平坦化工艺,晶圆上覆盖有薄膜层,对所述晶圆进行第一平坦化处理,去除所述薄膜层表面的颗粒,在所述第一平坦化处理后,对所述晶圆上的所述薄膜层进行第二平坦化处理。所述第一平坦化处理去除所述薄膜层表面的颗粒,降低因所述晶圆上存在的颗粒,导致所述晶圆在所述第二平坦化处理中被刮伤的风险,所述第二平坦化处理平坦化所述覆盖所述晶圆的所述薄膜层,从而降低所述晶圆平坦化工艺前,所述晶圆上覆盖的所述薄膜层的厚度不均匀对后续工艺的影响,有利于提高芯片良率和半导体器件质量。
天眼查资料显示,浙江创芯集成电路有限公司,成立于2020年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本214766.6666万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江创芯集成电路有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目295次,财产线索方面有商标信息21条,专利信息722条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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