国家知识产权局信息显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司申请一项名为“晶圆倒角加工方法、装置及设备”的专利,公开号CN122807722A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本公开提供了一种晶圆倒角加工方法及设备,其中,方法包括:获取晶圆倒角设备的倒角加工控制参数,以及当前晶圆在倒角加工期间的倒角加工响应信息;将倒角加工控制参数和倒角加工响应信息输入边缘质量预测模型,得到当前晶圆的边缘质量预测结果;获取当前晶圆的边缘质量实测结果,并根据边缘质量预测结果与边缘质量实测结果之间的偏差,控制晶圆倒角设备执行倒角加工控制操作。应用本公开实施例,能够在加工数据与质量检测结果之间形成反馈关系,并据此确定后续需要执行的设备控制操作,保障晶圆倒角加工过程的边缘质量稳定性。
天眼查资料显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司,成立于2016年,位于西安市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本403780万人民币。通过天眼查大数据分析,西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目13次,专利信息1668条,此外企业还拥有行政许可24个。
西安欣芯材料科技有限公司,成立于2022年,位于西安市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本504400万人民币。通过天眼查大数据分析,西安欣芯材料科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目174次,专利信息203条,此外企业还拥有行政许可25个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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