国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“离子注入缺陷的检测方法及检测系统”的专利，公开号CN122814626A，申请日期为2026年6月。

专利摘要显示，本申请公开了一种离子注入缺陷的检测方法及检测系统，属于半导体检测技术领域。该方法包括：对经过离子注入的样品上的每个测量点进行缺陷检测，包括：将脉冲泵浦光照射至该测量点上，以基于光热效应激发热波；将脉冲探测光照射至该测量点，利用脉冲探测光获取该测量点因热波产生的光热信号；基于该光热信号确定表征缺陷热扩散特性的第一参数，并根据第一参数确定测量点的目标缺陷密度；和/或基于该光热信号确定表征缺陷回声特性的第二参数，并根据第二参数确定测量点的目标缺陷深度；之后，根据各个测量点分别对应的目标缺陷密度和/或目标缺陷深度，对样品进行多维度检测。本申请能够实现对样品的离子注入缺陷的无损多维度检测。

天眼查资料显示，深圳中科飞测科技股份有限公司，成立于2014年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本35016.3237万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目411次，财产线索方面有商标信息303条，专利信息1147条，此外企业还拥有行政许可45个。

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作者：情报员