国家知识产权局信息显示,武汉衡惯科技发展有限公司申请一项名为“一种全对称梳齿结构MEMS惯性器件及其制作方法”的专利,公开号CN122813822A,申请日期为2026年8月。

专利摘要显示,本发明提供了一种全对称梳齿结构MEMS惯性器件及其制作方法,包括基底、器件层和上盖板,所述器件层包括位于中心的动锚点、位于外围的定锚点以及多组交错嵌套配合的动梳齿和定梳齿,多组动梳齿围绕动锚点对称布置,且通过弹性支撑梁弹性连接于动锚点上,多组定梳齿固定连接于定锚点上。该发明通过设计中心动锚点为可动结构的约束支点,定锚点分布在外围,形成“内动外定”的对称布局,应力从中心向外均匀传递,无局部应力集中;同时动、定梳齿以动锚点为圆心形成环形交叉结构,能够在有限面积内最大化布置电容极板面对面积,且全对称差分检测模式极大提升了信号幅度与抗干扰能力,为实现亚微伽级加速度或高分辨率角速度检测提供了可能。

天眼查资料显示,武汉衡惯科技发展有限公司,成立于2021年,位于武汉市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本3257.152万人民币。通过天眼查大数据分析,武汉衡惯科技发展有限公司共对外投资了1家企业,财产线索方面有商标信息4条,专利信息63条,此外企业还拥有行政许可1个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员