国家知识产权局信息显示,上海原子启智半导体设备有限公司申请一项名为“开度阀、半导体处理设备”的专利,公开号CN122834681A,申请日期为2026年8月。

专利摘要显示,本申请涉及半导体加工技术领域,提供一种开度阀、半导体处理设备,开度阀包括阀体和调节机构,阀体具有气体通道,调节机构包括:阀板,可滑动地连接于阀体,用于至少部分遮挡气体通道以配置开度阀的开度;曲柄;连杆,一端与曲柄转动连接,另一端与阀板转动连接;旋转驱动件,连接曲柄,用于驱动曲柄沿同一方向连续旋转,以使阀板在其最大开度和最小开度之间往复运动。本申请的开度阀由于旋转驱动件驱动曲柄沿同一方向连续旋转,无需反复启停或切换旋转方向,消除了电机换向过程中的减速、停止和再加速所带来的等待时间,从而使阀板的往复运动更加迅速,提高了开度阀的响应速度,能够满足原子层蚀刻等工艺对气体切换响应时间的严格要求。

天眼查资料显示,上海原子启智半导体设备有限公司,成立于2025年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1493.1645万人民币。通过天眼查大数据分析,上海原子启智半导体设备有限公司财产线索方面有商标信息4条,专利信息32条,此外企业还拥有行政许可7个。

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作者:情报员