南亚科技申请半导体结构及其制造方法专利,避免平坦化过程中过度抛光导致的凹陷问题
金融界
·北京
·金融界网站官方账号 优质财经领域创作者
国家知识产权局信息显示,南亚科技股份有限公司申请一项名为“半导体结构及其制造方法”的专利,公开号CN122872109A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明提供半导体结构,其包括基板、介电层、多个导电栓塞以及至少一虚拟栓塞。基板包括周边区。介电层设置在基板上。多个导电栓塞设置在周边区中且贯穿介电层。至少一虚拟栓塞设置在周边区中且浮置在介电层中。此设计可避免在平坦化过程中产生过度抛光而导致的凹陷问题。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴