国家知识产权局信息显示，无锡卓海科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆颗粒检测装置和方法”的专利，公开号CN122859131A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆颗粒检测装置和方法。检测装置包括激光器、分束元件、快门、运动模块和信号采集与控制模块，激光器用于出射一束激光束；分束元件位于激光器的出光侧，用于将激光束分为两束光束，分别为第一探测光束和第二探测光束，并使第一探测光束和第二探测光束同时照射至晶圆表面；快门位于激光器和分束元件之间，用于在关闭时遮挡激光束；运动模块用于承载并带动晶圆运动；信号采集与控制模块位于晶圆上方，并与快门和运动模块连接，用于执行多个采集周期，直至对整个晶圆完成颗粒检测。本发明仅需单次扫描即可同时实现大颗粒安全检测与小尺寸颗粒高灵敏检测，兼顾了安全性、灵敏度与产能。

天眼查资料显示，无锡卓海科技股份有限公司，成立于2009年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本7168.6725万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡卓海科技股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目141次，财产线索方面有商标信息34条，专利信息193条，此外企业还拥有行政许可44个。

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作者：情报员