国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“下电极结构、下电极表面的清理方法、干刻机台及干刻机”的专利，公开号CN122868390A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本申请实施例提供的一种下电极结构、下电极表面的清理方法、干刻机台及干刻机，涉及刻蚀设备技术领域，该下电极结构包括下电极本体、顶针和伸缩机构，下电极本体上设有有贯穿下电极本体的通孔，下电极本体包括相对设置的第一表面和第二表面；顶针至少部分位于通孔内，顶针内设有通风孔，通风孔与风源连通，顶针上还设有出风口，出风口与通风孔连通；伸缩机构位于第二表面远离第一表面的一侧，伸缩机构与顶针连接。本申请可以去除下电极本体的第一表面上的至少部分生成物，从而可以使玻璃基板更稳定地放置在第一表面上，以及可以延长开腔清除第一表面上生成物的间隔时间，从而可以提高相应的产能。

天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目999次，专利信息4714条，此外企业还拥有行政许可43个。

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作者：情报员