国家知识产权局信息显示,浙江创芯集成电路有限公司申请一项名为“芯片失效分析结构及其形成方法”的专利,公开号CN122882940A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,一种芯片失效分析结构及其形成方法,所述形成方法,包括:提供基底、位于所述基底上的多个导电层和位于所述导电层上的薄膜层;在所述薄膜层内形成凹槽,所述凹槽底部保留所述薄膜层的一部分厚度,且所述凹槽的侧壁呈台阶状;确定所述凹槽底部多个导电层中需电性外接的导电层,记为外接导电层;去除所述外接导电层上的薄膜层;形成金属连线层;形成测试端子,位于所述凹槽外的薄膜层上;其中,所述金属连线层自所述外接导电层连接至所述测试端子。本发明实施例有利于提高芯片失效分析结构的制作良率。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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