国家知识产权局信息显示，研微（江苏）半导体科技有限公司申请一项名为“等离子体工艺装置”的专利，公开号CN122889670A，申请日期为2026年9月。

专利摘要显示，本申请属于半导体技术领域，提供了一种等离子体工艺装置，可以提高多腔室腔体结构的稳定性和可靠性。等离子体工艺装置包括腔体部和加强部，腔体部包括多个上腔模块、中腔体和下腔体，多个上腔模块分别与中腔体连接，下腔体可分离地连接于中腔体，其中，中腔体设有多个空腔区，多个空腔区分别容纳一个上腔模块；加强部包括多个第一加强件，多个第一加强件设置在中腔体上，其中，中腔体包括交界部，且交界部处于相邻的空腔区之间，第一加强件设于交界部上。

天眼查资料显示，研微（江苏）半导体科技有限公司，成立于2022年，位于无锡市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本3899.1337万人民币。通过天眼查大数据分析，研微（江苏）半导体科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目12次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息73条，此外企业还拥有行政许可10个。

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作者：情报员