国家知识产权局信息显示,安徽宏禧微显科技有限公司申请一项名为“一种OLED阳极的制备方法”的专利,公开号CN122892440A,申请日期为2026年9月。
专利摘要显示,本发明提供了一种OLED阳极的制备方法,属于半导体器件技术领域。本发明在所述阳极和基板的表面进行PECVD,对得到的像素定义层前体进行第一光刻,暴露出部分所述阳极,对得到的第一光刻后基板的氮化硅层进行等离子体处理,表面形成类SiO层,对得到的等离子体处理后基板进行第二光刻,暴露出所述像素隔离区;对所述像素隔离区进行过刻蚀,形成所述底切结构,然后去胶;所述过刻蚀的过程中,对氮化硅的刻蚀速率大于所述类SiO层。本发明通过使用单层绝缘膜层,利用Plasma的表面处理,将绝缘层表面变性,将氮化硅层处理成类SiO层,将氮化硅的刻蚀速率调节成远大于SiO,经OE即可形成底切结构,提高了良率。
天眼查资料显示,安徽宏禧微显科技有限公司,成立于2025年,位于滁州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本40700万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽宏禧微显科技有限公司参与招投标项目29次,专利信息3条,此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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