国家知识产权局信息显示,东莞市国彪半导体有限责任公司申请一项名为“晶圆表面金属化工艺技术”的专利,公开号CN122892463A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,晶圆表面金属化工艺技术。该发明所属的技术领域为:集成电路和半导体领域;芯片散热、第四代半导体加工和高端AI芯片堆叠(HBM)封装技术领域,涉及相关的晶圆表面金属化工艺技术。晶圆表面金属化工艺技术的5步法能有效减小晶圆表面金属化层厚度,且操作简便、生产成本低、生产速率显著提升、生产效率高;且晶圆表面金属化工艺技术的5步法的加工工艺技术方法能有效加工出来<5nm达到2.5nm厚的高纯度AU黄金金属化层,且金属化层不会造成晶圆整体热应力和翘曲、不会脱落。为芯片散热、第四代半导体加工和高端AI芯片堆叠(HBM)封装技术实现有效突破;实现8英寸200mm厚0.3mm晶圆表面金属化<5nm达到2.5nm的晶圆表面金属化层的量产。实现国内半导体技术的有效突破,为晶圆3D堆叠和AI芯片制造打下坚实基础。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员