国家知识产权局信息显示，江苏鲁德科技有限公司申请一项名为“工艺监控方法、晶圆制造设备和存储介质”的专利，公开号CN122910022A，申请日期为2026年8月。

专利摘要显示，本公开提供了一种工艺监控方法、晶圆制造设备和存储介质，该工艺监控方法包括：响应于晶圆当前经过目标工艺步骤处理完成，在晶圆进入下一工艺步骤之前，对晶圆的当前形貌进行量测，获取当前形貌数据，其中，目标工艺步骤为前道工艺中除光刻工艺步骤以外的工艺步骤；基于当前形貌数据与预设的基准形貌数据之间的差异，确定晶圆在目标工艺步骤中的形貌偏差量；基于形貌偏差量判断晶圆是否满足预设形貌指标，若不满足，确定目标工艺步骤存在异常。该方法实现了对晶圆制造过程的形貌异常实时监控和异常工艺步骤的及时定位，避免了异常晶圆继续流入后续加工，有利于缩短工艺调整周期和提高制造良率。

天眼查资料显示，江苏鲁德科技有限公司，成立于2024年，位于南京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁德科技有限公司专利信息37条，此外企业还拥有行政许可1个。

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作者：情报员