国家知识产权局信息显示,博盛半导体股份有限公司申请一项名为“SiC接面场效电晶体及制作方法”的专利,公开号CN122934845A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本发明公开一种SiC接面场效电晶体及制作方法,利用单一布植制程进行离子掺杂以同步形成JFET区(Junction Gate Field‑Effect Transistor,JFET)与N型表层,达到简化制程步骤、调整导通电阻及临界电压;接续通过先进行闸极布植,再进行间隔层沉积制程、沟槽蚀刻的制程顺序,使间隔层厚度决定闸极接面宽度,利用闸极与JFET区掺杂浓度差异,于沟槽蚀刻过程自然形成渐缩轮廓并优化闸极接面;最后,以二阶段倾斜布植配合前述闸极布植及间隔层制程,使沟槽闸极接面呈上宽下窄的形貌,达到改善电场分布及提升元件效能。

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作者:情报员