国家知识产权局信息显示,江苏皓越真空设备有限公司申请一项名为“大尺寸SPS设备多电极分区温度场均匀性控制系统及方法”的专利,公开号CN122924447A,申请日期为2026年7月。

专利摘要显示,本发明公开了一种大尺寸SPS设备多电极分区温度场均匀性控制系统,包括:多电极分区布局模块,用于在烧结腔体内形成至少3个独立控温区,其中,各电极区由独立电源供电;多点温度感知模块,用于实时采集各控温区的温度数据;智能协同控制模块,用于接收所述多点温度感知模块采集的温度数据,采用MPC+强化学习融合算法建立多输入多输出温度场动态模型,实时优化各电极区功率分配以最小化全场温度方差,并引入热力耦合约束作为边界条件。还公开了一种大尺寸SPS设备多电极分区温度场均匀性控制方法。本发明解决了大尺寸SPS设备在高温高压烧结过程中温度场分布不均匀、中心与边缘温差大、控制响应滞后等问题。

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作者:情报员