国家知识产权局信息显示,青岛贝斯兰半导体科技有限公司取得一项名为“一种降低夹持应力的晶圆夹持装置”的专利,授权公告号CN224863358U,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本申请公开了一种降低夹持应力的晶圆夹持装置,属于晶圆制造技术领域。该装置包括:驱动机构、晶圆卡盘、若干夹持件、若干支撑部,晶圆卡盘靠近边缘的位置周向均匀设置有若干固定孔;夹持件包括第一限位部、第二限位部、第三限位部和连接柱,连接柱设置在固定孔内,并能够在固定孔内转动,第一限位部的一端与连接柱的顶部固定连接,第二限位部设置在第一限位部的下方,并与连接柱的侧壁固定连接,第三限位部的上端和下端分别与第一限位部和第二限位部连接,并设置在第二限位部的一侧;支撑部设置在夹持件靠近晶圆卡盘中心轴的一侧,驱动机构驱动夹持件相对于晶圆卡盘转动。该装置能够适用于多种不同尺寸和厚度晶圆夹持,提高晶圆夹持件的灵活性。
天眼查资料显示,青岛贝斯兰半导体科技有限公司,成立于2023年,位于青岛市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1155.5555万人民币。通过天眼查大数据分析,青岛贝斯兰半导体科技有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息130条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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