ASML最不想看到的一幕,还是来了。
中国EUV光源样机刚亮相,国产化率就冲到90%。
ASML原本想靠先进设备卡住中国,结果反而把国产替代越逼越快。
更让荷兰没想到的是,中方再次打出稀土牌,彻底拿捏了荷兰的命脉。
过去几年只要谈到中国先进芯片,就绕不开一个名字:ASML。
因为EUV光刻机是7纳米以下先进制程的重要设备,而ASML长期掌握这一领域的整机优势。
美国不断收紧限制之后,中国想直接购买先进EUV设备,基本没有可能。
原来ASML的算盘很清楚,只要把最关键的设备卡住.
中国先进制程就算还能往前走,成本也会越来越高,速度也会越来越慢。
可现在,最让ASML不愿看到的变化出现了。
10月上海工博会上,朗道燧岩公开展示EUV光源系统样机,现场披露的国产化率达到90%。
更重要的是,这套系统采用LPP路线.
通过高功率激光轰击锡滴产生13.5纳米极紫外光,这正是当前主流EUV光源的技术方向。
为什么一个光源样机,会引起这么大关注,因为EUV光源不是普通零部件。
一台EUV光刻机要真正跑起来,光源就像它的心脏。
没有稳定、强大的13.5纳米极紫外光,后面的反射镜、掩模和晶圆台再先进,也发挥不出来。
所以我认为,这次真正重要的,不是中国已经有EUV光刻机了,这种说法显然还早.
而是过去被认为最难啃的核心环节,开始从实验室往产业化走。
当然问题依然很多,因为目前样机距离真正量产大约还有3到5年,
最大的难点就是输出功率和长时间运行稳定性。
商用设备不是点亮几分钟就算成功,而是要长时间连续工作,还得把功率波动控制在极小范围内。
换句话说,这一步还不是终点,但它已经改变了问题。
过去的问题是中国有没有这条技术路线,现在的问题变成了中国多久能把这条路线做到工业级。
这两个问题,看起来只差几个字,意义却完全不同。
更关键的是,中国现在并没有把全部希望都压在EUV身上。
EUV还需要时间,那么这3到5年怎么办?
中国给出的答案,是先把手里的DUV用到极致,再另外开一条路。
中国目前的第一条现实路线,依然是DUV。
过去中国已经进口了相当数量的ASML浸没式DUV设备。
虽然DUV本身不像EUV那样适合直接冲击最先进制程.
但通过多重曝光、工艺优化和更复杂的制造流程,仍然可以把制程继续往前推。
代价当然有,曝光次数增加以后,制造步骤更多,良率控制更难,成本也会上升。
可它至少解决了一个问题,那就是EUV买不到,不代表先进制程只能原地踏步。
这也是为什么现在ASML自己,反而不愿意美国继续把DUV限制往死里加。
10月14日,ASML首席财务官罗杰·达森公开反对美国国会进一步限制对华DUV销售。
他给出的理由很直接:如果限制继续升级,结果可能适得其反,反而会加快中国开发竞争性国产技术。
这句话其实很值得琢磨,一家掌握领先技术的企业,最怕什么?
不是客户继续买自己的产品,而是客户彻底买不到以后,被逼着自己造。
在我看来,这就是过去几年技术封锁出现的一个最大悖论。
限制确实可以拖慢对手,可限制时间越长,自研动力也会越强。
尤其中国本身拥有完整的制造业体系、庞大的芯片需求和足够大的市场。
一旦决定长期投入,就很难指望它永远停在进口替代之前。
而且DUV还不是全部,另一条正在推进的路线,是纳米压印。
它的思路和传统光刻不完全一样,不是不断通过更复杂的光学系统把图形曝光到晶圆上。
而是更像盖章,直接把纳米级图形复制到材料表面。
它的优势很明显:设备复杂度和部分制造成本有机会明显下降。
当然纳米压印目前依然存在良率、模板寿命、缺陷控制等难题。
尤其在先进逻辑芯片领域,还远谈不上全面替代EUV。
可这恰恰说明,中国现在的打法已经变了。
不是非得沿着ASML铺好的路追到最后,而是EUV继续攻核心。
DUV先解决现实需求,纳米压印再寻找绕开的可能。
我认为,这才是ASML真正需要警惕的地方。
单看任何一条路线,都还有明显短板。
可三条路线同时往前走,意味着中国先进制造不再只有买不买得到ASML设备这一个答案。
更有意思的是,就在中国寻找替代路线的时候,欧洲突然发现,自己手里的牌也没有想象中那么稳。
事情发生在一家名叫辛德豪瑟材料的德国小企业身上。
这家公司名气不大,却位于ASML供应链之中,主要从事精密制造、先进涂层和相关材料业务。
今年7月,欧盟推出新一轮对俄制裁,并把部分中国企业列入限制名单。
随后中国也把14家欧洲实体纳入出口管制名单,辛德豪瑟就在其中。
随着中方的出手,这家企业真正的问题很快暴露出来。
辛德豪瑟高度依赖来自中国的稀土和关键矿产。
一旦相关供应长期受限,这家企业甚至可能在几个月内面临无法继续经营的风险。
更麻烦的是,它又处在ASML供应链之中。
于是局面出现了一个很有意思的反转。
过去是欧洲不断讨论怎样限制中国获得先进半导体设备。
现在却轮到欧盟主动与中方谈,希望给这家德国企业松绑。
目前讨论的方案,是欧盟解除对一家中国企业的限制,以换取中方调整针对辛德豪瑟的措施。
双方此前在北京举行经贸磋商时,也讨论了相关安排。
这件事最值得看的,不是一家德国小企业本身。
而是它暴露出了高端制造业一个经常被忽视的问题:再先进的设备,也不可能凭空造出来。
ASML的光刻机由大量复杂零部件、特种材料、光学系统和精密加工环节组成。
哪怕整机技术掌握在欧洲手里,只要其中某一个不起眼的材料供应长期中断,照样可能影响整个链条。
从这个角度看,欧洲现在面对的局面就有点尴尬。
一边希望通过设备优势保持对中国半导体产业的技术约束。
另一边,自己的供应商又离不开中国关键矿产。
更微妙的是,中国越被限制,就越加快EUV、DUV和其他设备的国产替代。
欧洲如果限制得太轻,美国不满意。
限制得太狠,又可能把中国这个大客户彻底推向自主研发。
ASML最新一个季度依然非常赚钱,第三季度净销售额达到117亿欧元。
新光刻系统销量也从上一季度86台升至113台。它当然远没有到被中国技术取代的程度。
这一点必须说清楚,ASML目前依旧拥有明显领先优势,中国EUV光源距离真正工业化也还有很长的路。
但我认为真正发生变化的,是双方的依赖关系。
以前更多是中国担心ASML不卖怎么办,现在ASML自己开始公开担心:
如果什么都不卖,中国会不会更快把替代品造出来。
欧洲还要担心关键材料突然断供,自己的供应链怎么办。
这就是技术封锁最难掌控的地方。
短期看,确实可以给对手制造麻烦。
可时间一旦拉长,原本的客户可能变成竞争者,原本不起眼的供应链弱点,也可能被对方找到。
3到5年后,中国EUV光源到底能走到哪一步,现在谁都不能提前下结论。
但有一件事已经越来越清楚,当中国开始同时推进EUV、DUV国产替代和纳米压印时。
ASML过去面对的是一个想买先进设备却买不到的市场。
未来它可能面对的,却是一个即便你想卖,对方也在努力减少依赖的市场。
而辛德豪瑟的遭遇又提醒欧洲,所谓卡脖子,从来不是只有一个方向。
如果一边限制中国买设备,一边又离不开中国的关键材料,那么这场半导体博弈最后比的。
就不只是ASML还能领先多少年,而是谁能更快把自己供应链上的软肋补上。
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