来源:问董秘

投资者提问:

您好,董秘,贵公司在光刻机领域方面有研究吗?

董秘回答(锐科激光SZ300747):

尊敬的投资者,您好!锐科激光“全波段系列产品”围绕激光领域“全波长、全功率、全脉宽、全应用”目标,实现各层级基础技术、材料、器件、光源自主创新。其中,波长仅为213nm的深紫外纳秒光纤激光器最大平均功率达到150mW,单脉冲能量超过0.6μJ,在DUV激光检测、半导体光刻、FBG刻写、光谱分析等先进应用领域有着重要作用。公司高度重视光刻机光源国产化需求,积极布局光刻配套光源相关技术储备,公司研发技术情况请以定期报告披露的情况为准。谢谢!

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