国家知识产权局信息显示，沈阳三特真空科技有限公司申请一项名为“一种基于升华通量可控可调节的真空沉积炉动态控压装置及方法”的专利，公开号CN122959687A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本发明公开了一种基于升华通量可控可调节的真空沉积炉动态控压装置及方法，属于真空沉积设备的工业控制技术领域。本发明采用量程互补的多个真空规按测量不确定度与量程有效度加权得到融合压力，依据气体流量平衡在线反算坩埚升华产生的等效气体负载，由坩埚温度变化计算前导量并反演节流阀电导与阀位关系求得前馈阀位，在工作点处以局部过程增益对反馈输出归一化，经限幅与抗积分饱和后驱动节流阀使腔室压力跟踪设定压力。装置包括多量程真空规组、节流阀、真空泵和控制器。本发明对不可直接测量的升华负载进行估计与超前补偿，使控制回路在宽工艺范围内保持一致的稳定裕度，实现宽量程可靠测量与自适应的高精度动态控压。

天眼查资料显示，沈阳三特真空科技有限公司，成立于2013年，位于沈阳市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳三特真空科技有限公司参与招投标项目53次，专利信息27条，此外企业还拥有行政许可4个。

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作者：情报员