国家知识产权局信息显示,杭州积海半导体有限公司申请一项名为“金属栅的形成方法”的专利,公开号CN122970970A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本发明公开了一种金属栅的形成方法,属于半导体技术领域,该金属栅的形成方法,包括提供在晶圆表面绝缘介质层内形成有栅凹槽的晶圆;在栅凹槽内依次沉积高K栅介质层、功函数层和阻挡层;在栅凹槽内填充金属层;采用化学机械研磨的方式去除绝缘介质层表面的高K栅介质层以及高K栅介质层上的其他介质层;至少再进行一次化学机械研磨,使得金属栅的厚度到第一预设厚度;再沉积第二预设厚度的绝缘介质层;在绝缘介质层上形成对应于栅凹槽图案的掩模层;以掩模层图案,去除金属栅上的绝缘介质层。通过采用CMP工艺替代干法刻蚀工艺,对金属栅的高度进行调节,再沉积绝缘介质补足后通过干法刻蚀打开金属栅区域,消除干法刻蚀等离子体对金属栅的损伤。
天眼查资料显示,杭州积海半导体有限公司,成立于2019年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1225000万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州积海半导体有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目594次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息156条,此外企业还拥有行政许可21个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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