国家知识产权局信息显示,昊石新材料科技南通有限公司申请一项名为“一种超均匀高致密碳化硅涂层石墨承载盘”的专利,公开号CN122959694A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明公开了一种超均匀高致密碳化硅涂层石墨承载盘,涉及半导体制造的技术领域,包括承载盘本体,呈圆盘片状结构,所述承载盘本体的上表面开设有多个间隔分布的多边形凹槽,所述多边形凹槽用于容纳衬底。本发明通过正六边形凹槽在承载盘本体上表面呈蜂窝状紧密排列,同时在凹槽槽壁上设置正六棱柱状凸起块从侧向支撑衬底,二者协同作用,不仅使相同直径承载盘上的衬底布置数量得以提升,大幅提高单批次外延生长产能。
天眼查资料显示,昊石新材料科技南通有限公司,成立于2016年,位于南通市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本4135.7713万人民币。通过天眼查大数据分析,昊石新材料科技南通有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目1次,专利信息69条,此外企业还拥有行政许可4个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴