国家知识产权局信息显示，上海原子启智半导体设备有限公司取得一项名为“射频组件与等离子体处理设备”的专利，授权公告号CN224907967U，申请日期为2026年9月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种射频组件及等离子体处理设备。射频组件包括第一射频线圈、第二射频线圈、第一滤波器和第二滤波器。第一射频线圈具有接入第一频率射频信号的第一馈入端和经第一滤波器接地的第一接地端，第二射频线圈具有接入第二频率射频信号的第二馈入端和经第二滤波器接地的第二接地端。第一滤波器允许第一频率通过且抑制第二频率，第二滤波器允许第二频率通过且抑制第一频率。等离子体处理设备包括工艺腔和介电窗，射频组件设于介电窗外以在工艺腔内激发等离子体。该结构有利于阻断不同频率射频电流通过接地路径相互串流，减少多频线圈之间的射频电流交叉耦合。

天眼查资料显示，上海原子启智半导体设备有限公司，成立于2025年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1493.1645万人民币。通过天眼查大数据分析，上海原子启智半导体设备有限公司财产线索方面有商标信息7条，专利信息34条，此外企业还拥有行政许可7个。

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作者：情报员