真空探针台是一种能够在真空环境下进行薄膜材料电学性能测试的设备。它通过在真空环境中对样品进行加热或冷却，模拟不同温度下的实验条件，以获取材料在不同温度下的电学性能数据。那么真空探针台的结构包括哪几个部分呢?下面键德测试测量小编就来为大家介绍下。

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　　真空探针台的结构通常包括以下几个主要部分：

　　探针架：支撑和固定探针的结构，通常采用稳定的材料制成，如铝合金或不锈钢。

　探针：探测器件，用于接触样品表面并获取表面形貌或性能信息。常见的探针类型包括扫描探针显微镜(SPM)的探针、电化学探针等。

　　探针调节机构：控制探针在 XYZ 三个方向的移动，以实现对样品的扫描或测试。

　　真空系统：提供稳定的真空环境，减少气体对测试结果的干扰。真空系统通常包括真空泵、真空室、阀门等组件。

以上就是真空探针台的结构了，真空探针台为真空变温实验提供解决方案，同时可集成显微镜、光谱系统进行材料表征。