近日，泛半导体缺陷检测创新型企业创锐光谱宣布完成近亿元PreA轮融资，由光速光合领投，老股东君联资本跟投，指数资本担任独家财务顾问。融资资金将主要用于技术研发和产能扩容。

创锐光谱成立于2016年，是全球领先的瞬态光谱技术产业化企业，立足瞬态光谱技术，建立了从基础科学研究到泛半导体检测领域的全系列产品。历经多年的技术积累与深度耕耘，创锐光谱在光谱学系统、激光器、OPO、探测器、自动化等关键技术和核心组件及软件与运动控制算法等方面均实现自研。

创锐的科研产品线包括超快瞬态吸收光谱系统、超快瞬态吸收显微成像、纳秒瞬态吸收光谱系统、闪光光解系统等，其产品成功打破欧美等巨头垄断，目前已进入国内外近百所高校和研究机构，超快光谱系统实现国内市占率第一；在化合物半导体检测产品领域，创锐光谱构建了从衬底到外延的一站式检测方案；在泛半导体其他领域，已实现钙钛矿光伏面板、第二代半导体晶圆、芯片和MicroLED等多个不同场景检测技术和设备的落地，不断拓宽市场和技术的边界。

创锐光谱CEO陈俞忠博士表示，近一年来创锐光谱在SiC晶圆缺陷检测方面取得了巨大的技术突破，成功开发了衬底/外延位错缺陷无损检测、点缺陷检测、高速载流子寿命检测等多种专用设备，在全球范围内首次解决了SiC衬底位错缺陷无损检测的世界性难题，该突破性技术也不断得到行业认可，相关DiSpec系列检测设备已实现全球首套落地，并同步发运国际和国内头部客户。

本轮融资后，创锐光谱将持续加大研发投入力度，加速推进SiC晶圆缺陷检测、钙钛矿光伏面板检测等多种工业检测产品的市场导入， 实现批量出货目标。

“一代材料，一代工艺，一代检测”是半导体产业历来的发展逻辑，新检测技术是推动新材料和新工艺落地的关键利器。然而，在化合物半导体加速发展的大趋势下，同时具备高效率、低成本，且能覆盖晶格结构和化学等多种缺陷的检测方式，尚属空白状态：主流前道检测技术中，光学检测（AOI、CIM、明暗场等）可以实现宏观物理缺陷的快速、无损检测，但对微观晶格缺陷没有检测能力；常规谱学检测（XRD、非线性光学、XRT等）的检测速度有限，且成本较高、操作复杂。

瞬态光谱技术与其他类型检测有着本质区别，通过Pump光源使被测物体进入激发态，在材料的动态过程和分布上表征多种结构和化学缺陷信息，从而实现泛半导体材料关键缺陷检测的革命性突破。

当前，SiC材料已进入降本增效、“拼质量”阶段，瞬态光谱技术填补了关键缺陷检测技术的空白，为SiC晶圆生产带来巨大价值。同时，该技术可实现无损、高速率、极高准确性，这将推动整条产业链实现SiC衬底“片片检”。此外，其底层技术能够复用于科研场景、GaN外延检测、钙钛矿电池检测等场景，可触达市场空间超过百亿。

创锐光谱CEO陈俞忠博士表示，指数资本关注半导体设备行业多年，对各类细分的检测设备做过深入研究，能够从资本市场的角度，既快又准地梳理出创锐光谱的行业生态位。他们制作的交易材料专业、精准、亮点突出，对融资进度的把控经验十足，本轮融资在效率和结果上都大大超出预期。

指数资本副总裁蔡鹏程认为，新型检测技术是推进新型材料和工艺技术落地的关键抓手。创锐团队在瞬态光谱技术领域沉淀20年，包含激光器在内的多种核心部件均自主研发，稀缺性极强。2024年是创锐在泛半导体领域实现大规模突破的元年，我们欣喜地看到，创锐在海内外头部客户实现突破，作为创锐光谱的独家财务顾问，我们很高兴能陪伴公司顺利完成本轮的融资，未来我们也将继续陪伴创锐持续成长！

光速光合执行董事郭斌表示，创锐光谱集结了中科院、浙江大学、埃默里大学等多家世界顶级学府及科研院所的专家团队，深耕工业界极为稀缺的瞬态光谱检测技术。公司以科研市场为依托，开创性地开发出具有生产指导价值的新型高端检测设备，同时突破现有光学检测手段的能力边界，有效延伸到碳化硅功率器件、钙钛矿光伏组件、MicroLED显示面板等高端制造领域，显著促进了几大新兴领域的商业化进程。尤其在碳化硅领域，已成功向国内外龙头企业交付了全球范围内首台套该类型的高端检测设备，树立了行业标杆。此外，经过多年技术积淀，公司成功实现在激光器、探测器等关键零部件完全自主化生产，打破了国外巨头的供应链垄断，构建了极深的行业护城河。

君联资本创锐光谱项目负责人施立成表示，当前，SiC材料已进入降本增效、“拼质量”阶段，创锐光谱团队利用多年积累的瞬态光谱技术填补了SiC关键缺陷检测的空白，为SiC晶圆生产带来巨大价值。同时，该技术可实现无损、高速率、极高准确性，这将推动整条产业链实现SiC衬底“片片检”。此外，其底层技术能够复用于科研场景、GaN外延检测、钙钛矿电池检测等场景，可触达市场空间超过百亿。