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国产光刻机

在芯片制造领域，光刻机是不可忽略的重要设备，没有光刻机，一颗芯片都造不出来。尤其是生产高端5nm芯片，更是需要EUV光刻机的支持。可是全球光刻机厂商屈指可数，能够生产EUV光刻机的仅仅只有荷兰ASML公司。

高端光刻机的稀有程度，超乎寻常设备。一辆普通汽车大概有5000个零部件，但EUV光刻机的零部件多达10万个以上。

纵使光刻机制造难度再大，国产企业也没有放弃对光刻机的研发，在国产光刻机供应链方面，我国也是有自己的核心力量的。比如负责生产光刻机整机设备的有上海微电子，提供双工件台的有华卓精科。

提供物镜系统的有国望光学科技，提供光源系统的有科益虹源光电，包括曝光光学提供同样有长春国科精密光学技术有限公司等等。

这些都是国产光刻机供应链的重要产业支柱，因为有他们，国产光刻机才能一路向前。除此之外，我国重要科研机构中科院在去年正式宣布，要正式入局光刻机领域，攻克关键技术。

因此国产光刻机并非没有自己的中坚力量，但是关于国产光刻机，需要了解三个方面。

需要了解的三个方面

光刻机的种类是非常多的，根据波长的不同，对应的芯片制程范围也是不一样的。比如EUV光刻机采用了13.5的波长，属于极紫外光刻，从而能够实现高端芯片的生产。那么国产光刻机需要了解的三个方面当中，就和这几点有关系。

第一个方面：国产光刻机迈入第四代工艺

光刻机发展至今一共经历过五代制程，第五代就是ASML掌握的EUV光刻机。而第四代是国内光刻机巨头上海微电子掌握的ArF，波长在193nm。这是上海微电子研发的领域，研发的第四代光刻机能够用于45-22nm芯片制程的生产。

并且按照目标计划，上海微电子计划在2021年到2022年期间交付一台28nm的浸没式光刻机。这台国产光刻机已经迈入第四代工艺。仅次于第五代。

这是国产光刻机的水平，虽然没有世界顶尖的水准，但也并非想象中的落后。

第二个方面：ASML对中国光刻机市场的态度

因为能够生产EUV光刻机，所以ASML有能力参与“高端局”，甚至在高端局还匹配不到对手。看似是一件好事，实则中低端光刻机才是最大的市场。

中国是世界上芯片消费大国，再加上我国定下了在2025年实现70%芯片自给率的目标。因此就离不开大量光刻机的支持，ASML看到了其中的机会。

于是表态，要加快在中国光刻机市场的布局，并且在去年上海进博会期间，ASML也表示会对中国出口光刻机保持开放态度。

ASML对我国光刻机市场的态度是比较关键的，因为高端EUV光刻机，我们还无法生产。如果能得到ASML的供应，那么国产芯片有可能迈入5nm制程。

第三个方面：上海微电子28nm光刻机的意义

上海微电子的这台28nm光刻机，可以生产性能更出色的芯片。要知道上海微电子之前掌握的是90nm，现如今跨越到了28nm，意义是非常重大的。它可以满足国内主流芯片产品的生产，甚至对完成2025年70%芯片自给率也是有可能实现的。

虽然距离第五代EUV光刻机还有一段路要走，但是历经多年的发展，国产光刻机同样取得重大的进步。

总结

国产光刻机迈入第四代工艺，ASML希望扩大在中国市场的布局，并且保持开放合作。最后上海微电子即将在这几年交付28nm光刻机。

面对中国这一庞大的市场，国产光刻机供应链不遗余力奉献力量，有他们在，国产光刻机一定能崛起。

对国产光刻机你有什么看法呢？

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