【功耗只有十分之一!佳能首台新型纳米压印光刻机交付】传统的光刻机通过将电路图案投影到涂有光刻胶的晶圆上来转移电路图案,佳能的这款新型纳米压印光刻机是通过将“印有电路图案的掩模像印章一样压入晶圆上的光刻胶中”来生产芯片。佳能表示,相较于传统光刻机需要复杂的光学镜片构造,纳米压印设备的构造更为简单,功耗仅需十分之一。
功耗只有十分之一!佳能首台新型纳米压印光刻机交付
【功耗只有十分之一!佳能首台新型纳米压印光刻机交付】传统的光刻机通过将电路图案投影到涂有光刻胶的晶圆上来转移电路图案,佳能的这款新型纳米压印光刻机是通过将“印有电路图案的掩模像印章一样压入晶圆上的光刻胶中”来生产芯片。佳能表示,相较于传统光刻机需要复杂的光学镜片构造,纳米压印设备的构造更为简单,功耗仅需十分之一。
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