金融界2024年11月7日消息,国家知识产权局信息显示,华映科技(集团)股份有限公司取得一项名为“一种便于废渣收集的蒸镀坩埚装置”的专利,授权公告号 CN 221956182 U,申请日期为2024年3月。

专利摘要显示,本实用新型涉及显示领 域,尤其涉及一种便于废渣收集的 蒸镀坩埚装置。包括坩埚本体以及 用于承托坩埚本体的废渣收集器, 所述坩埚本体的底部为网状镂空结 构,所述废渣收集器的顶部设有可 开闭的底部遮罩,所述底部遮罩应 全部覆盖所述坩埚本体的底部。本 实用新型的蒸镀坩埚,通过在主坩 埚底部设计镂空的网状结构,主坩 埚下方设计安装可分离的废渣收集 器,将有利于减少材料杂质和材料 氧化物对蒸镀材料的污染,通过可 开闭的底部遮罩减少频繁开腔清理蒸镀材料的的废渣避免外 界气氛对材料的氧化,稳定蒸镀腔室内部蒸镀气氛,减少废渣 对蒸镀速率和蒸镀洁净度的影响,保障蒸镀器件的良性生产。

本文源自:金融界

作者:情报员