金融界2025年6月13日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体设备及进气装置”的专利，公开号CN120138793A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本申请属于半导体设备技术领域，具体涉及一种半导体设备及进气装置。该进气装置包括冷却结构、进气组件以及位于进气组件的底端的气体分配组件，气体分配组件的周向侧壁设有若干分配孔；冷却结构包括：环绕进气组件设置的第一冷却腔、位于气体分配组件底端的第二冷却腔以及位于第一冷却腔和第二冷却腔之间且与二者均连通的多个冷却管；第一冷却腔位于气体分配组件的上方，第一冷却腔内设置有隔断板，隔断板将第一冷却腔分隔成两个子冷却腔，两个子冷却腔的底部均设有多个通孔，每一通孔连接一个冷却管；多个冷却管贯穿气体分配组件后与第二冷却腔连通。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目1068次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

本文源自：金融界

作者：情报员