金融界2025年6月30日消息，国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种上部进气匀气结构及等离子刻蚀机”的专利，公开号CN120221372A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种上部进气匀气结构及等离子刻蚀机，包括中心进气组件和边缘进气组件，其中，所述中心进气组件形成多条中心喷气通路，所述边缘进气组件形成多条边缘喷气通路，多条所述边缘喷气通路围绕所述中心喷气通路布置。与现有技术相比向等离子体反应腔室进气的均匀性，改善了等离子刻蚀机刻蚀速率的均匀性。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目232次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息430条，此外企业还拥有行政许可14个。

本文源自：金融界

作者：情报员