一台国产光刻机的破局，背后是十年磨一剑的技术突围与国家战略的精准落子。
01
亿元订单背后的技术里程碑
2025年12月25日，一则来自中国政府采购网的公示信息，在中国半导体产业界激起了千层浪。
上海微电子装备（集团）股份有限公司成功中标一项金额高达10999.985万元的步进扫描式光刻机采购项目。买方是科学技术部下属的LGGJ实验室，项目总预算为1.13亿元。
这并非一笔普通的商业交易，它被业内广泛解读为国产前道光刻机发展历程中一个具有里程碑意义的信号——标志着国产高端光刻装备首次以亿元级订单的形式，正式进入国家级科研体系的核心工艺链，实现了从技术验证到市场应用的“从0到1”的关键跨越。
此次中标的设备型号为SSC800/10，其中“SSC”为上海微电子首次公开的型号代号。根据专家论证意见，该步进扫描式光刻机具备分辨率≤110纳米和套刻精度≤15纳米的核心性能指标。
这一技术水平意味着该设备能够支持0.18微米及以下的先进工艺节点，适用于微米乃至亚微米级结构的高均匀性、高稳定性加工，尤其能够满足如高密度神经电极阵列制造等前沿科研对极细线宽和高对准精度的苛刻要求。
更值得玩味的是本次采购所采用的“单一来源采购”方式。根据《政府采购法》，这种方式通常仅在货物或服务使用了不可替代的专利、专有技术，或公共服务项目有特殊要求等情况下方可采用。
这一采购方式的选择，强烈暗示了上海微电子在此特定型号设备上具备了国内唯一且不可替代的技术能力，是国家对供应链安全与技术自主性高度重视的体现。
此外，采购主体使用了“zycgr22011903”这一保密代码，也凸显了项目的战略性和重要性。
02
从技术认可到生态激活
此次中标的意义远超过订单金额本身，其释放的战略信号对正处于攻坚期的中国半导体设备产业而言，影响深远。
买方是科技部下属的国家级实验室，其采购决策基于严谨的技术论证。这意味着上海微电子的设备性能已通过权威评审，从“实验室样机”晋级为能够承担实际科研任务的“可用装备”。
这为国产设备后续进入商业晶圆厂奠定了至关重要的信心基础。受此利好消息直接刺激，上海微电子的股东之一张江高科（600895）股价在消息公布当日午后直线拉升，盘中一度暴涨超8%，资本市场反应热烈，折射出市场对国产替代前景的信心增强。
尽管客户仍是科研机构，但这是国产前道光刻机首次通过正式招投标流程完成千万元以上的高价值采购合同落地。上海微电子作为国内唯一具备先进前道光刻机研发能力的企业，其SSX600系列光刻机已实现90nm、110nm等关键制程工艺覆盖。此次中标证明，国产设备已初步具备解决0.18μm及以上工艺节点实际应用场景的能力，填补了国产DUV光刻机在主流工艺上的应用空白。
而 光刻机作为“半导体工业皇冠上的明珠”，其突破具有强大的产业带动效应。分析指出，光刻机技术的突破将加速光刻胶、光学部件等“卡脖子”材料的国产化进程，推动精密机械、高端装备等配套产业升级。
上游的光学系统、精密机械、控制软件等环节将迎来新的研发驱动力；中游的整机集成将获得宝贵的真实工艺环境调试经验；下游的晶圆厂则看到了构建国产备份能力、降低对ASML等海外巨头依赖的可能性。一个“设备-材料-制造”协同发展的良性产业生态有望加速形成。
03
从“可用”到“可替”
一场与时间的赛跑
上海微电子的1.1亿订单，是国产光刻机“从0到1”的里程碑，但“从1到N”的产业化之路仍需攻坚。
未来五年需紧盯四大指标：晶圆厂国产设备采购占比、SMEE持续订单获取能力、02专项资金支持力度、核心专利增长曲线。只有当国产光刻机不仅能“进实验室”，更能“上生产线”时，中国半导体产业才能真正构筑起自主可控的基石。
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