国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“光学邻近效应修正方法”的专利,公开号CN121325500A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明公开了一种光学邻近效应修正方法,通过调整SRAF的宽度和厚度,改变其透光率,实现对晶圆线宽的影响,从而解决密集图形线条周期很小,空间不足,SRAF难以放置的问题,以及SRAF尺寸过小会发生劈裂的问题,优化光罩SRAF设计与晶圆线宽的协同关系,另外,由于插入窄曝光辅助图形在一张光罩上可以摆放更多图形,能减少光罩的拆分,有利于降低光罩成本。
天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2093次,专利信息2666条,此外企业还拥有行政许可397个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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