国家知识产权局信息显示，江苏博涛智能热工股份有限公司申请一项名为“多片式镀膜装置和镀膜设备”的专利，公开号CN121407058A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明公开了一种多片式镀膜装置，包括主体框架、盖板组件、进气组件、排气组件和卡塞盒组件，该镀膜装置内部下端板和底板之间的间距、所述上端板与盖板组件底部表面之间的距离、所述卡塞盒侧板与侧板之间的距离、最靠近上端板一侧的鳍板与上端板之间的距离、最靠近下端板一侧的鳍板与下端板之间的距离，与相邻鳍板之间的间距均相同。本发明的多片式镀膜装置中各板体之间的间距均相同，因此流过不同部件之间的前驱体无论流量还是流速等也相同或大致相同，提高了不同晶圆膜厚的一致性。

天眼查资料显示，江苏博涛智能热工股份有限公司，成立于2010年，位于苏州市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本10613.7931万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏博涛智能热工股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目157次，财产线索方面有商标信息18条，专利信息272条，此外企业还拥有行政许可29个。

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作者：情报员