2024年9月那段时间，网上一段采访直接炸了锅，说这话的是中科大前副院长朱士尧。一句“美国都单独造不出顶级光刻机，中国永远也不可能”甩出来，网友直接吵翻了天。有人说老专家讲真话戳破了泡沫，有人说这是泼冷水故意打击士气。
朱士尧本身就是实打实的科研出身，1944年生在上海嘉定，1963年考进中科大原子核物理专业。他毕业之后直接留校搞研究，长期深耕等离子体物理和受控核聚变领域。从业多年他发过不少核心论文，还出过三本专业著作，在业内认可度很高。
他还先后在海外顶尖科研机构待过，去美国威斯康星大学做过三年访问学者，又去荷兰做过一年半访问教授。1997年开始他担任中科大研究生院副院长，一当就是七年，对国内外科研产业的门门道道都摸得门清。
2005年刚退休他就被华为请去当党委副书记，干了整整十年，专门研究企业文化。等于从一线科研到高校管理再到头部科技企业的运作，他全走了一遍。说这话根本不是瞎站队蹭热度，是实打实的跨领域经验打底。
他说的其实是顶级EUV光刻机的产业现实，这玩意儿根本不是哪个国家能单枪匹马搞定的。一台EUV光刻机就重180多吨，里面光零件就超过十万个，涉及光学、真空、精密机械好几个大类的顶尖学科。得靠全球几十个国家上千家公司凑供应链才能攒出来，缺了任何一环都不行。
现在全球唯一能量产EUV的就是荷兰的阿斯麦，可它自己也攒不出100%国产化的整机。核心光学镜片要靠德国蔡司，激光光源最早是美国公司的技术，材料主要靠日本，高精度零件还有韩国、荷兰本地的供应商。它自己都公开说过，要搞完全自主的全自产整机根本办不到。
阿斯麦能走到今天也不是一蹴而就的，1984年飞利浦和ASM合资成立，早期差点破产熬不下去。后来转做扫描式光刻机，2000年后砸大钱搞EUV技术，2018年才开始给台积电、三星、英特尔交付商用EUV。四十多年的专利和技术迭代，还有和供应链、客户绑定的生态，才堆起现在的高壁垒。
它每年的研发投入都高得吓人，2025年研发投入超过47亿欧元，还跟上下游的供应商、客户一起迭代技术。现在的高NA EUV能减少多重曝光，降低缺陷还能缩短生产周期，实用性拉满。2025年虽然因为出口管制中国区销售额降了，但全球逻辑芯片和存储芯片的需求拉着EUV销量还在涨。
阿斯麦2026年的营收指标是340到390亿欧元，毛利率在51%到53%之间，还计划裁1700人优化结构。现在它已经是欧洲市值排在前列的科技公司，技术壁垒不是随便哪个国家靠闭门造车就能追上的。全球供应链的现实就是一环扣一环，谁也离不开谁。
朱士尧也不是故意泼冷水唱衰国产，他说中国半导体起步晚，跟美国的基础差距可能有50到100年，单靠自己闷头搞难度太大。他就是想提醒大家别光喊空口号，得认清楚全球供应链的现实，别忽略产业发展的客观规律。脚踏实地搞研发搞合作，比喊什么“弯道超车”靠谱多了。
这话吵得最凶的时候刚好是海外封锁最严的阶段，2022年10月美国商务部出了新规，扩大了外国半导体相关产品的管制范围。2023年底荷兰又禁售先进深紫外光刻机，国内的产线和实验室都在加班加点优化参数，囤货的集装箱都堆得满满当当。
但咱们也没躺平等着卡脖子，上海微电子2002年就成立了，专门攻国产光刻机的研发。上世纪90年代咱们的光刻机还全靠进口，2010年后国家加大了支持力度，北京、深圳也陆续建了相关的研究中心。一步步攒自己的技术家底，没想着一口吃成胖子。
2016年上海微电子拿出了90纳米级的设备，总算是迈出了自主生产的第一步。2024年工信部发布的目录里，已经列进去了65纳米分辨率的国产氟化氩光刻机。现在这款设备主要用在汽车电子、消费芯片这些成熟领域，已经实现规模量产，国内市场占率超过80%。
2025年的进展更是肉眼可见，上海微电子的28纳米浸没式深紫外光刻机已经交付给中芯国际。第一台在2024年底到2025年初进入验证阶段，套刻精度达到1.9纳米，良率慢慢爬到了90%。各项参数都达到了商用标准，够得上国内大部分产线的需求。
这台设备的关键部件国产化率超过85%，光源用的是北京科益虹源的60瓦ArF准分子激光，稳定性达到99.99%。工件台是北京华卓精科的，精度1.7纳米，镜头和光学件由北京国望光学和国科精密供应。北方华创这些企业也同步供货，上海、北京、深圳的本土供应链已经慢慢连成片了。
现在28纳米机型已经在产线跑片，支持多重曝光能往7纳米制程靠，虽然光源功率还比阿斯麦同代的产品低一些，但用在成熟制程上完全够用。极紫外领域咱们还在做专利积累和原型验证，2026年有量产计划，短期内还是以深紫外的国产替代为主。一步步稳扎稳打，没搞什么大跃进。
现在咱们也不是完全硬扛着不买进口设备，2025年全年中国从阿斯麦进口的光刻机金额占它全球销售额的33%，差不多80多亿欧元，折人民币六百多亿。这笔进口额占中国进口光刻机总额的90%左右，剩下10%是日本尼康、佳能的设备。一边买能用的成熟设备救急，一边搞自己的技术替代，节奏踩得很稳。
参考资料：
人民日报 中国半导体产业发展年度报告
光明网 国产光刻机技术进展跟踪报道
工信部 高端装备制造业发展目录
热门跟贴