国家知识产权局信息显示,上海邦芯半导体科技有限公司申请一项名为“一种半导体结构的平坦化方法及半导体结构”的专利,公开号CN121793664A,申请日期为2026年3月。
专利摘要显示,本申请实施例公开了一种半导体结构的平坦化方法及半导体结构,包括:提供表面上形成有多个结构图形的衬底,形成将结构图形的顶部覆盖且表面具有凹陷的介质层,旋涂有机物层将凹陷填满,使用第一蚀刻选择比对有机物层的表面进行缺省掩膜的第一蚀刻,去除凹陷以外的介质层表面上的有机物层,并在凹陷中留有顶面不低于介质层表面的剩余的有机物层,使用大于第一蚀刻选择比的第二蚀刻选择比,对介质层的表面和剩余的有机物层的顶面进行缺省掩膜的第二蚀刻,直至凹陷及其中剩余的有机物层最终被同步消除,得到消除了凹陷的介质层的平坦化表面。本申请能避免采用传统CMP平坦方式带来的研磨缺陷及底部损伤。
天眼查资料显示,上海邦芯半导体科技有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本6166.6668万人民币。通过天眼查大数据分析,上海邦芯半导体科技有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目20次,财产线索方面有商标信息18条,专利信息211条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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