国家知识产权局信息显示，启迪原子私人有限公司申请一项名为“利用数字孪生和神经网络监测半导体制造工艺系统稳定性的方法”的专利，公开号CN122161414A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种利用数字孪生和神经网络监测半导体制造工艺系统稳定性的方法。在该方法中，创建单个和群组工艺系统两者的数字孪生，以识别子系统参数随时间变化，并评估其对工艺性能的精确度影响。该方法提高了复杂半导体制造工艺的运行效率、均匀性和精度。

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作者：情报员