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7月8日,2025年度国家科学技术奖揭晓,由同济大学牵头完成的“量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用”项目荣获国家科学技术进步奖一等奖。这一成果标志着历经二十余年攻关的纳米计量技术实现重大突破,从实验室走向产业应用,为集成电路等先进制造领域提供核心支撑。

作为项目重要承载地,松江区及洞泾镇通过产学研协同创新、政策扶持和产业生态构建,为技术攻关与成果转化提供了坚实保障。

 项目荣获国家科学技术进步奖一等奖
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项目荣获国家科学技术进步奖一等奖

计量是测量的科学及应用。测得出,才能造得出;测得准,才能造得精。纳米计量是实现纳米制造准确性的前提和保障。

据了解,该项目聚焦集成电路纳米制造领域的计量瓶颈,突破传统纳米计量技术精度不足、传递链长的局限,创新提出量子化光晶格常数纳米计量技术。通过将铬原子精准排列至量子化光晶格常数位置,项目团队成功研制出皮米级精度的纳米标尺,获批5项国家一级标准物质,并建立我国首个纳米尺度正交角度标准物质。这一技术实现“米”定义的直接溯源,跳过传统多级传递误差,为产业现场提供“一步校准”解决方案,填补国内高端计量设备空白。

基于量子化光晶格常数制造纳米标尺的精密装置
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基于量子化光晶格常数制造纳米标尺的精密装置

项目取得良好进展,离不开地方政府接通产业链、创新链、人才链。作为长三角G60科创走廊策源地,松江区将该项目纳入“2+4”现代产业体系重点支持方向,联动松江大学城科创源与张江实验室资源,推动技术成果落地。2024年1月,国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心(上海)获批筹建,并于去年10月落户松江区洞泾镇科大智能产业园。

该中心作为松江区与同济大学区校共建的首发项目,依托区校共建机制,整合高校学科优势与区域产业需求,构建“技术研发—中试验证—产业应用”全链条服务体系。目前,中心正面向长三角集成电路企业开展计量测试服务,推进标准物质研制与设备校准,助力产业技术升级。

“成熟一个引进一个,构建‘企业出题目、同济有学科、园区有产线、G60有场景’的新型创新联合体。”G60创新研究中心主任贾占锋表示,研究院将采用“揭榜挂帅”、联合研究等方式,完善项目团队从同济大学到研究院的引入机制。

国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心(上海)项目效果图
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国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心(上海)项目效果图

属地松江洞泾镇也深度参与到项目产业化进程,以高效服务打通成果转化“最后一公里”。洞泾镇相关负责人告诉记者,针对产业化公司注册发展需求,洞泾镇组建专门服务团队,洞泾人工智能公司与市场监督部门成立工作组,建立“办证群”提供全程指导,解决核名、出资比例等流程难题,加速企业落地。

同时,同济大学长三角G60研究院创新柔性引才机制,通过双向挂职、项目合作等形式吸引专家团队,并设立多元化投资成果转化平台,吸纳社会资本与区级、镇级平台共同入股,确保项目优先扎根松江洞泾。依托这一模式,研究院已围绕集成电路、卫星互联网等方向启动多个攻关项目,构建“企业出题、学科解题、园区验证”的创新生态,推动洞泾成为高端装备与纳米制造产业集聚高地。

据悉,下阶段松江区与洞泾镇两级政府将通过政策协同与创新资源整合,持续强化产业支撑。同济大学研究院也将实行任务导向预算管理与负面清单机制,提升科研灵活性;

洞泾镇相关负责人表示,洞泾镇集聚了一批相关的上下游企业,形成计量需求与技术验证的良性循环,将持续深化与高校、企业的联动,推进中试平台建设与成果转化服务,助力长三角集成电路产业自主可控能力提升,服务上海(长三角)国际科创中心战略。

原标题:《同济大学这个项目摘国家科技桂冠,项目承载地松江洞泾提供坚实保障》